Описание продукта

Пьезо-нанопозиционная ступень

Пьезо-нанопозиционная ступень выводит смещение и силу, создаваемые пьезоаккумуляторами через механический гибкий шарнир, может осуществлять движение по оси X / Z / XY / XZ / XYZ.Максимальный диапазон перемещения составляет до 300 мкм.Он отличается небольшими размерами, быстрой реакцией и т.д.Высокоточный датчик может быть интегрирован для достижения наноразрешения и точности позиционирования с чрезвычайно высокой надежностью., и разделен на две структуры: прямой привод и усиленный привод.

Характеристики пьезопозиционера P60.X250 X линейный каскад

• Исполнение с замкнутым контуром для обеспечения высокой точности • Антивибрационная конструкция • Дифференциальный привод • Доступно исполнение с высокой / низкой температурой / вакуумом • Быстрая реакция • Доступно вакуумное исполнение

Кривая зависимости частоты от нагрузки

Технические данные

Тип

S-замкнутый контур

K-разомкнутый контур

P60.X250S

P60.X250K

Блоки

Активные оси

X

X

Приводные каналы

2

2

Дорожный звонок (0 ~ 120 В)

±130

±130

мкм ± 10%

Рабочий сигнал (0 ~ 150 В)

±165

±165

мкм±10%

Датчик

СГС

-

Постановление

9

3

nm

Линейность

0.1

-

%F.S.

Повторяемость

0.04

-

%F.S.

Тангаж / рыскание /крен

＜ 10

＜ 10

мкрад

Усилие вытягивания

300/30

300/30

N

Жесткость

1.2

1.2

Н / мкм ± 20%

Ненагруженная резонансная частота

490

490

Гц ± 20%

Время шага без нагрузки

80

40

мс ± 20%

Грузоподъемность

0.6

0.6

кг

Эл.емкость

24.6

24.6

мкФ ±20%

Рабочая температура[1]

-40~+80

-40~+80

℃

Защита от вибрации

Дизайн

Полусинусоидальная волна

15g, 11 мс

15g, 11 мс

Пилообразная волна заднего пика

20g, 11 мс

20g, 11 мс

Материал

Сталь, Al

Сталь, алюминий

Масса

950

950

g ± 5%

Размер (Д × Ш × В)

100×100×22.5

мм

Чертеж

Рекомендуемые контроллеры

Применение

• Сканирующий микроскоп • Регулировка оптического пути • Технология манипулирования нанометрами • Обработка изображений с помощью ПЗС-матрицы

• Лазерные помехи • Нанолитография, биотехнологии • Оптическая связь • Наноизмерения • Наноотпечаток

Наша компания

CoreMorrow располагает профессиональной командой технических исследований и разработок, мощными силами в области исследований и разработок, передовым производственным и испытательным оборудованием, индивидуальные продукты могут быть быстро доставлены в течение 1-4 недель.Мы получили национальную сертификацию высокотехнологичного предприятия и были сертифицированы ISO9001: 2015, CE и RoHS.Мы владеем более чем 50 патентами, включая патенты на изобретения, полезные модели, патенты на внешний вид, авторские права на программное обеспечение и т.д., Которые охватывают ключевые технологии точного позиционирования, обнаружения, зондирования, управления и программного обеспечения.И стала самым профессиональным производителем оборудования для точного позиционирования в Китае.

Сертификат